Pagdating sa kumpanya ng Dutch ASML, alam ng lahat na sila lamang ang supplier ng EUV lithography machine sa mundo, at ang paggawa ng 7nm at sa ibaba ng mga proseso ay nakasalalay sa kanilang kagamitan. Gayunpaman, ang ASML ay hindi lamang isang malakas na makina ng lithography. Ngayon inihayag nila ang isa pang bagong produkto-ang unang henerasyon ng HMI multi-beam inspection machine, ang HMI eScan1000, na angkop para sa 5nm at mas advanced na mga proseso, na ginagawang pagtaas ng kapasidad ng 600%.
Sa patuloy na pagpapabuti ng teknolohiya ng proseso, ang paggawa ng mga wafer ay nagiging mas kumplikado, na kung saan ay magiging sanhi din ng maraming mga pagkakamali sa wafer. Ang HMI eScan1000 ay isang sistema ng pagtuklas batay sa teknolohiyang multi-beam ng HMI, at mayroon ding mga kumplikadong photoelectric subsystem sa loob. Maaari itong makabuo at makontrol ang maraming mga beam ng elektron, pagkatapos ay pag-aralan ang kalidad ng wafer batay sa nakalarawan na imaging ng electron beam, at may isang mataas na bilis ng platform upang makontrol ang bilang ng mga wafers na nasubok, at isang sistema ng computing upang maproseso ang data ng electron beam.
Nang simple, ang HMI eScan1000 machine na binuo ng ASML ay isang sistema upang mapatunayan ang kalidad ng mga wafer na ginawa ng mga advanced na proseso. Ang mas advanced na proseso, mas mahalaga ang sistema ng inspeksyon. Ang katumpakan ng inspeksyon nito at throughput ay tukuyin ang kahusayan ng paggawa.
Ang pambihirang tagumpay ng HM eScan1000 ng ASML ay maaari itong sabay na makabuo at makontrol ang siyam na mga beam ng elektron, kaya ang kapasidad ng produksiyon ay nadagdagan ng 600%, na maaaring mabawasan ang oras na ginamit para sa pagsusuri ng kalidad ng wafer.
Sa kasalukuyan, ang HMI eScan1000 ay maaaring magamit para sa pagsubok ng wafer ng mga advanced na proseso ng 5nm at sa ibaba. Naihatid ito sa mga customer para sa pagsubok at pagpapatunay. Sa hinaharap, ang ASML ay maglulunsad din ng mas maraming kagamitan sa pagsubok ng beam upang matugunan ang mga kinakailangan ng mga customer para sa mga advanced na proseso.